半导体设备：

1、刻蚀机：北方华创、中微公司；

2、光刻机：上海微电子（未上市），零部件 茂莱光学、炬光科技、福晶科技、腾景科技、奥普光电、蓝英装备、张江高科、华卓清科（未上市）

3、薄膜沉积PVD：北方华创；

4、薄膜沉积CVD：北方华创、中微公司、拓荆科技；

5、离子注入：中科信、万业企 ... 展开